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发明名称 VERFAHREN ZUR CVD BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN UNTER VERWENDUNG VON BI-CARBOXYLATEN
摘要
申请公布号 DE69823174(D1) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 DE1998623174 申请日期 1998.12.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 HINTERMAIER, FRANK;VAN BUSKIRK, PETER;ROEDER, R.;HENDRIX, BRYAN;BAUM, H.;DESROCHERS, A.
分类号 C23C16/40;C23C16/56;C30B25/02;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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