METHOD FOR CORRECTING PHYSICAL ERRORS IN MEASURING MICROSCOPIC OBJECTS,申请号EP20010984527-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR CORRECTING PHYSICAL ERRORS IN MEASURING MICROSCOPIC OBJECTS
摘要
申请公布号	EP1330628(B1)	申请公布日期	2004.05.19
申请号	EP20010984527	申请日期	2001.05.31
申请人	PDF SOLUTIONS GMBH;MUETEC AUTOMATISIERTE MIKROSKOPIE UND MESSTECHNIK GMBH	发明人	HARTMANN, HANS;WAAS, THOMAS;EISENMANN, HANS;BRUECK, HANS-JUERGEN
分类号	G01B9/04;G01B11/02;G01B15/00;G02B21/00;(IPC1-7):G01B9/04	主分类号	G01B9/04
代理机构		代理人
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