发明名称 |
烷基化氨基烷基哌嗪表面活性剂及其在光致抗蚀显影剂中的应用 |
摘要 |
本发明提供了水基组合物,具体的说是涂料、油墨、湿润液、胶粘剂、农业的和光致抗蚀显影剂/电子清洗剂组合物,通过加入表面张力降低量的某些有下式结构的烷基化氨基烷基哌嗪化合物可降低其平衡和动态表面张力:其中R<SUP>1</SUP>和R<SUP>2</SUP>的其中之一是C5-C14的烷基或环烷基,而另一个是H,或者R<SUP>1</SUP>和R<SUP>2</SUP>都是C5-C8的烷基,n是2或3。 |
申请公布号 |
CN1497359A |
申请公布日期 |
2004.05.19 |
申请号 |
CN00134217.7 |
申请日期 |
2000.10.11 |
申请人 |
气体产品与化学公司 |
发明人 |
K·R·拉斯拉;R·V·C·卡尔;K·E·明尼奇 |
分类号 |
G03F7/32;C11D1/58 |
主分类号 |
G03F7/32 |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
王其灏 |
主权项 |
1、一种含有表面活性剂的含水光致抗蚀显影剂组合物,改进之处在于其包括用下式结构的一种烷基化氨基烷基哌嗪化合物作为表面活性剂:<img file="A0013421700021.GIF" wi="581" he="141" />其中R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>的其中之一是C5-C14的烷基或环烷基,而另一个是H,或者R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>都是C5-C8的烷基,n是2或3。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚州 |