| 发明名称 |
Beleuchtungseinrichtung für ein Projektions-Mikrolithographie-Gerät |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59610973(D1) |
申请公布日期 |
2004.05.19 |
| 申请号 |
DE19965010973 |
申请日期 |
1996.04.30 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
WANGLER, JOHANNES;ITTNER, GERHARD |
| 分类号 |
G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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