发明名称 WORK POLISHING METHOD AND WORK POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1155777(A4) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 EP20000970137 申请日期 2000.10.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD 发明人 KODAIRA, MASAO;NAKAMURA, MIKIO;KIDA, TAKAHIRO
分类号 B24B37/04;(IPC1-7):B24B37/04;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
主权项
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