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发明名称 Apparatus for polishing semiconductor wafer
摘要
申请公布号 EP0916451(B1) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 EP19980309217 申请日期 1998.11.11
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 ENGDAHL, ERIC H.;FERRI, EDWARD T. JR.;KRUSELL, WILBUR C.;JAIRATH, RAHUL;GREEN, RANDALL L.;PANT, ANIL
分类号 B24B21/04;B24B21/10;B24B37/04;B24B41/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):B24B37/04;B24B21/20 主分类号 B24B21/04
代理机构 代理人
主权项
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