| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ABSCHEIDUNG VON FLUOR-DOTIERTEN SILIZIUMDIOXIDSCHICHTEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69728683(D1) |
申请公布日期 |
2004.05.19 |
| 申请号 |
DE19976028683 |
申请日期 |
1997.02.20 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
DENISON, R.;LAM, JAMES |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/02 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
