Plasma etching fluorinated polymer substrates,申请号GB20020026688-传众专利搜索

发明名称	Plasma etching fluorinated polymer substrates
摘要
申请公布号	GB2395357(A)	申请公布日期	2004.05.19
申请号	GB20020026688	申请日期	2002.11.14
申请人	* UNIVERSITY COLLEGE CARDIFF CONSULTANTS LIMITED;* UNIVERSITY COLLEGE CARDIFF CONSULTANTS LIMITED	发明人	DAVID ANTHONY * BARROW;NICOLA * HARRIES;TYRONE GWYN * JONES;KOSTAS * BOURIS
分类号	B29C59/14;G03F7/00;G03F7/09;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306	主分类号	B29C59/14
代理机构		代理人
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