发明名称 Ion implantation and method of ion implantation
摘要
申请公布号 GB2395354(A) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 GB20020026261 申请日期 2002.11.11
申请人 * APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 ROBERT * MITCHELL;JOHN * GORDON;KEITH * RELLEEN;RONALD F * HORNER;THEODORE H * SMICK
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317;H01J37/30 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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