双元原子力显微镜检测头

摘要

本实用新型公开了一种双元原子力显微镜检测头。它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元和测量单元以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统。本实用新型的双元原子力显微镜检测头可以很好的消除压电陶瓷的非线性和滞后效应带来的扫描误差且不受样品导电性能的影响，最大测量范围达到5μm。使用不同的参考样品，双元原子力显微镜能够实现对任何电导率样品的纳米和亚微米精度的长度计量，可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。

主权项

1.一种双元原子力显微镜检测头，其特征在于它具有激光器、位置敏感元件(PSD)、半透半反射镜、微悬臂探针和Z向压电陶瓷组成的光电检测与反馈参考单元(1)和测量单元(2)以及由XY压电陶瓷、样品台、参考样品和待测样品组成的扫描控制系统(3)。