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发明名称 A method of etching porous dielectric
摘要
申请公布号 GB0408408(D0) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 GB20040008408 申请日期 2004.04.15
申请人 TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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