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发明名称 METHOD FOR PRODUCING MICRO-ELECTROMECHANICAL COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1419102(A2) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 EP20020798641 申请日期 2002.08.23
申请人 SCHOTT GLAS;CARL-ZEISS-STIFTUNG 发明人 LEIB, JUERGEN;BIECK, FLORIAN
分类号 B81C1/00;B81B;B81B7/00;B81B7/02;H01L21/00;H01L21/76;H01L21/8238;H01L21/84;H01L27/14;H01L29/82;(IPC1-7):B81B7/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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