带状工件输送装置

摘要

本发明提供一种带状工件输送装置，其目的是即使使带状工件浮起的干燥空气(或者氮气及稀有气体)从工作台向带状工件送出，也不会在带状工件上附着粒子。为达成此目的，本发明提供一种可以依次输送带状工件的带状工件输送装置，其具备：所述带状工件的固持面由多孔的烧结体形成的工作台，所述烧结体位于其一侧面的箱体，设置于所述烧结体或者烧结体周围的气体送出口，其特征在于，仅向所述箱体中供给真空，向所述气体送出口中供给气体。

主权项

1.一种带状工件输送装置，其是依次输送带状工件的带状工件输送装置，其特征在于，具备：工作台，该工作台的所述带状工件的固持面由多孔的烧结体形成；箱体，在其一侧面具有所述烧结体；气体送出口，被设置于所述烧结体或者烧结体周围；向所述箱体供给真空，向所述气体送出口仅供给气体。