激光光源装置及使用该装置的表面检查装置

摘要

激光光源装置2由光源单元11构成，光源单元11包括将从一个半导体激光器12射出的激光聚光的一个聚光透镜14、将从其它半导体激光器13射出的激光聚光的其它聚光透镜15、及使由一个聚光透镜聚光的激光和由其它的聚光透镜聚光的激光聚焦射入一个导光手段16的射入端面16a的聚焦透镜17。

主权项

1.一种激光光源装置，其特征在于，这种激光光源装置由光源单元构成，光源单元包括将从一个半导体激光器射出的激光聚光的一个聚光光学系统、将从其它的半导体激光器射出的激光聚光的其它聚光光学系统、及将由一个聚光光学系统聚光的激光和由其它聚光光学系统聚光的激光聚焦射入一个导光手段的射入端面的聚焦光学系统。