用微电子机械系统技术感测声音信号的系统和方法

摘要

一种具有声音传感器和处理电路的声音系统。所述声音传感器包括基座，还包括具有由基座支撑的一组热线延展部件的热线式风速计。这组热线延展部件限定一个实际上与麦克风振动膜平行的平面。所述处理电路接收来自麦克风的声音及风压信号和来自热线式风速计的风速信号，并根据来自麦克风的所述声音及风压信号和来自热线式风速计的所述风速信号提供一个输出信号(例如，去除风噪声的准确的声音信号)。各热线延展部件限定实际上与麦克风振动膜平行的平面，可以以MEMS器件容易地实现这种结构，使这种结构适合于小型化的应用。

主权项

1.一种声音传感器，包括：基座；由所述基座支撑的麦克风，所述麦克风包括麦克风振动膜；和由所述基座支撑的热线式风速计，所述热线式风速计包括一组热线延展部件，这组热线延展部件限定一个实际上与所述麦克风振动膜平行的平面。