发光体和包含它的电子束检测器、扫描型电子显微镜、质量分析装置

摘要

本发明涉及一种响应速度快、并发光强度高的发光体等。该发光体包括：基板、及设置在该基板的一个面上的氮化物半导体层。该氮化物半导体层由于射入电子而发出荧光。所产生的荧光中至少一部分透过基板，从该基板的另一面射出。该荧光的产生，是因电子射入氮化物半导体层的量子井结构，并由此所生成的电子与空穴的成对的再结合而引起，其响应速度在nsec等级以下。另外，该荧光的发光强度能获得与已有的P47荧光体相同程度的强度。即，该发光体具有的响应速度及发光强度充分适用于扫描型电子显微镜及质量分析装置。

主权项

1、一种发光体，这种发光体将射入的电子变换成荧光，其特征在于，它包括以下部分：对于所述的荧光为透明的基板、及设在所述基板的一个面上的氮化物半导体层，该氮化物半导体层具有利用所述电子的射入发出所述荧光的量子井结构。