电子线装置

摘要

在电子源装置中，具备电子源和电子线照射构件，在电子源与电子线照射构件之间设置了具有使电子通过的开口的电位规定板，在电子线照射构件与电位规定板之间配置了隔板，如果将电位规定板的接近于隔板的开口与隔板之间的部分与电子线照射构件的距离定为D1、将电位规定板的接近于隔板的开口与不接近于隔板的开口之间的部分与电子线照射构件的距离定为D2，则满足D1＜D2，由此，可抑制从电子源发射的电子束的轨道的偏移，可形成高品质的图像。

主权项

1.一种电子线装置，具有：电子源，具有电子发射元件；电子线照射构件，与上述电子源相对配置，被照射从上述电子发射元件发射的电子；电位规定板，被配置在上述电子源与上述电子线照射构件之间，具有使从上述电子发射元件发射的电子通过的开口；以及隔板，被配置在上述电子线照射构件与上述电位规定板之间，其特征在于：将上述电位规定板的接近于上述隔板的上述开口与上述隔板之间的部分与上述电子线照射构件的距离定为D1、将上述电位规定板的接近于上述隔板的上述开口与不接近于上述隔板的开口之间的部分与上述电子线照射构件的距离定为D2，则满足D1＜D2的关系。