发明名称 Semiconductor dynamic quantity-sensor and method of its manufacture
摘要
申请公布号 EP1014095(A3) 申请公布日期 2004.05.19
申请号 EP19990309911 申请日期 1999.12.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO. LTD. 发明人 UAYANAGI, KATSUMICHI;SASAKI, MITSUO;NISHIKAWA, MUTSUO;TAKAGI, SHIHO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01P15/08;G01P15/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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