| 发明名称 |
INTEGRATED SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0826231(A4) |
申请公布日期 |
2004.05.19 |
| 申请号 |
EP19960909902 |
申请日期 |
1996.03.28 |
| 申请人 |
TEGAL CORPORATION |
发明人 |
DEORNELLAS, STEPHEN, PAUL |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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