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发明名称 VORRICHTUNG ZUR PLASMA-GASBEHANDLUNG
摘要
申请公布号 AT266257(T) 申请公布日期 2004.05.15
申请号 AT20010982534T 申请日期 2001.10.23
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES 发明人 MOISAN, MICHEL;ZAKRZEWSKI, ZENON;KEROACK, DANIELLE;ROSTAING, JEAN-CHRISTOPHE
分类号 B01J19/08;H01J37/32;H05H1/30;H05H1/34;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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