| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE SOUS TENSION D'EXCITATION DU PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2826980(B1) |
申请公布日期 |
2004.05.14 |
| 申请号 |
FR20010009057 |
申请日期 |
2001.07.06 |
| 申请人 |
INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE RENNES(INSA) |
发明人 |
DRISSI M HAMED;BOURRY MATHIEU;COULON NATHALIE;SARRET MICHEL |
| 分类号 |
C23C14/08;(IPC1-7):C23C14/34;C03C17/09;C03C17/36;C23C14/18 |
主分类号 |
C23C14/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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