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发明名称
Vorrichtung zur Kondensationserzeugung eines Schichtes auf einem Substrat
摘要
申请公布号
DE69722619(T2)
申请公布日期
2004.05.13
申请号
DE19976022619T
申请日期
1997.10.08
申请人
RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT DU GROUPE COCKERILL SAMBRE, EN ABREGE: RD-CS
发明人
VANDEN BRANDE, PIERRE;WEYMEERSCH, ALAIN
分类号
C23C14/22;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
C23C14/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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