发明名称 TUNNELEFFEKTANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69721929(T2) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 DE1997621929T 申请日期 1997.03.25
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.;GUBIN, SERGEJ PAVLOVIC;KOLESOV, VLADIMIR VLADIMIROVIC;SOLDATOV, EVGENIJ SERGEEVIC;TRIFONOV, ARTEM SERGEEVIC;CHANIN, VLADIMIR VIKTOROVIC;KHOMUTOV, GENADII BORISOVICH;YAKOVENKO, SERGEI ALEXANDROVICH 发明人 GUBIN, SERGEI PAVLOVICH;KOLESOV, VLADIMIR VLADIMIROVICH;SOLDATOV, EVGENII SERGEEVICH;TRIFONOV, ARTEM SERGEEVICH;KHANIN, VLADIMIR VIKTOROVICH;KHOMUTOV, GENADII BORISOVICH;YAKOVENKO, SERGEI ALEXANDROVICH
分类号 H01L21/8247;H01L27/10;H01L29/66;H01L29/76;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/86;H01L49/00;(IPC1-7):H01L29/76 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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