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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICE AND MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICE OBTAINED THEREWITH
摘要
申请公布号 AU2003269351(A1) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 AU20030269351 申请日期 2003.10.17
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 JOZEF, T., M. VAN BEEK;MARGOT VAN GROOTEL
分类号 B81B3/00;B81C1/00;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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