发明名称 Optisches Projektionssystem und damit ausgerüstetes Belichtungsgerät
摘要
申请公布号 DE69629277(T2) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 DE19966029277T 申请日期 1996.05.31
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 MATSUZAWA, HITOSHI;SUENAGA, YUTAKA;KOBAYASHI, MISAKO
分类号 G02B13/24;G02B13/22;G03F7/20;(IPC1-7):G02B9/62 主分类号 G02B13/24
代理机构 代理人
主权项
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