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发明名称 IONENIMPLANTIERUNGSVORRICHTUNG GESTALTET ZUR AUSFILTERUNG VON NEUTRALEN IONEN AUS DEM IONENSTRAHL UND METHODE
摘要
申请公布号 DE69916241(D1) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 DE19996016241 申请日期 1999.09.08
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN 发明人 POLITIEK, JARIG;VAN HOFTEN, C.
分类号 C23C14/48;H01J37/09;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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