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发明名称 APPARAT ZUR ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE
摘要
申请公布号 DE69721931(T2) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 DE19976021931T 申请日期 1997.03.18
申请人 NIPPON SANSO CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 ARAI, TAKAYUKI;HIDAKA, JUNICHI;MATSUMOTO, KOH;AKUTSU, NAKAO;AOYAMA, KAZUHIRO;INAISHI, YOSHIAKI;WAKI, ICHITARO
分类号 C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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