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发明名称
摘要
申请公布号	JP2004514277(A)	申请公布日期	2004.05.13
申请号	JP20020541723	申请日期	2001.11.02
申请人		发明人
分类号	H01L21/3063;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/306	主分类号	H01L21/3063
代理机构		代理人
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