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发明名称 PLASMA RESISTANT SEAL
摘要
申请公布号 AU2003254871(A1) 申请公布日期 2004.05.13
申请号 AU20030254871 申请日期 2003.08.07
申请人 NOK CORPORATION 发明人 DAIHACHI SHOJIMA
分类号 C09K3/10;F16J15/06;F16J15/16;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C09K3/10
代理机构 代理人
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