| 发明名称 |
METHOD TO CONTROL DIMENSIONS OF FEATURES ON A SUBSTRATE WITH AN ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003267721(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.13 |
| 申请号 |
AU20030267721 |
申请日期 |
2003.10.04 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
KAILASH, N. SINGH |
| 分类号 |
H01L21/027;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/4763;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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