| 发明名称 |
AQUEOUS PHOSPHORIC ACID COMPOSITIONS FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003286584(A1) |
申请公布日期 |
2004.05.13 |
| 申请号 |
AU20030286584 |
申请日期 |
2003.10.21 |
| 申请人 |
EKC TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
CHRISTOPHER REID;DOUGLAS HOLMES;JEROME DAVIOT |
| 分类号 |
C11D7/06;C11D7/08;C11D7/32;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/3213 |
主分类号 |
C11D7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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