| 发明名称 | 微机电系统装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种MEMS装置，尽量抑制噪声的产生且可以得到高的可靠性。其具备：发光电路(2)，含有发光元件(2a)、射出光；受光电路(5)，具有多个接受从上述发光电路射出的光、发生电压的受光元件(5<SUB>1</SUB>、……、5<SUB>n</SUB>)串联连接的串联电路；及MEMS构造部(10)，被通过上述受光电路发生的电压驱动。 | ||
| 申请公布号 | CN1495916A | 申请公布日期 | 2004.05.12 |
| 申请号 | CN03149582.6 | 申请日期 | 2003.07.15 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 北川光彦;相泽吉昭 |
| 分类号 | H01L31/12;B81B7/02 | 主分类号 | H01L31/12 |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1.一种MEMS装置，其特征在于，具备：发光电路，含有发光元件、射出光；受光电路，具有多个受光元件串联连接的串联电路，该受光元件接受从上述发光电路射出的光、发生电压；及MEMS构造部，被通过上述受光电路发生的电压驱动。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||