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发明名称 PLASMA REACTOR WITH ADJUSTABLE DUAL FREQUENCY VOLTAGE DIVISION
摘要
申请公布号 EP1417697(A1) 申请公布日期 2004.05.12
申请号 EP20020753475 申请日期 2002.08.15
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BARNES, MICHAEL, S.;HOLLAND, JOHN;PATTERSON, ALEXANDER;TODOROV, VALENTIN;MOGHADAM, FARHAD
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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