真空电弧沉积设备

摘要

本发明公开了一种真空电弧沉积设备，组成该沉积设备的电弧蒸发源具有多个阴极、一触发电极、一触发驱动单元、一挡板、以及一挡板驱动单元。触发驱动单元可变换触发电极的位置，从而将其定位在某个所需阴极的前方，并使触发电极在该已变换位置上与所需阴极接触/脱离。挡板遮挡着除所需阴极之外其它所有阴极的前方。挡板驱动单元使挡板移动，从而可变换未被挡板遮挡着的阴极。另外，该真空电弧沉积设备还具有一变换控制单元，用于对挡板驱动单元和触发驱动单元进行控制，由此可变换未被挡板遮挡着的阴极，并将触发电极定位在未被挡板遮挡着的阴极之前。

主权项

1、一种真空电弧沉积设备，其包括：一真空腔；一电弧蒸发源，其利用真空电弧放电从阴极蒸发出阴极材料，所述电弧蒸发源包括：一用导体制成的阴极保持器，用于对所述阴极进行保持；多个阴极，它们附连到所述阴极保持器上；一用于引弧的触发电极；一触发驱动单元，用于执行一种对所述触发电极的位置进行变换的操作，由此可将所述触发电极定位在所述多个阴极中的某一所需阴极前方，并可执行这样一种操作：在所述的变换位置上，将所述触发电极移近或远离所述的所需阴极；一挡板，其能遮挡着除所述所需阴极之外其它所有阴极的前部；以及一挡板驱动单元，用于执行一种操作来使所述挡板移动，由此来变换未被所述挡板遮挡住的阴极；一电弧电源，其连接在所述电弧蒸发源的所述阴极与一与所述阴极对应的阳极之间，且所述阴极位于该电源的负极一侧；以及一变换控制单元，用于执行变换控制，用以对所述挡板驱动单元和所述触发驱动单元实施控制，从而可变换一个未被所述挡板遮挡住的阴极，同时还将所述触发电极定位在未被所述挡板遮挡的所述阴极之前。