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发明名称 Wafer aligner system
摘要
申请公布号 EP1045430(A3) 申请公布日期 2004.05.12
申请号 EP20000107200 申请日期 2000.04.12
申请人 BERKELEY PROCESS CONTROL, INC. 发明人 SAGUES, PAUL;GAUDIO, STEPHEN A.;WONG, TIM K.
分类号 G01B11/00;B65G49/07;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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