光学模块及其制造方法

摘要

一种光波导，包括：下包层、第一纤芯、第二纤芯、以及上包层。下包层具有整体上扁平的形状。第一纤芯具有四边形横截面，并且设置在下包层上。第二纤芯设置在第一纤芯的终端部分上。上包层设置在包括第一纤芯的终端部分、以及设置在第一纤芯的终端部分上的第二纤芯的区域中。下包层和设置在其上的第一纤芯构成第一光波导。下包层、设置在下包层上的第一纤芯的终端部分、设置在其上的第二纤芯、以及设置在第二纤芯上面和周围的上包层构成模场尺寸转换部分。下包层、设置在下包层上的第二纤芯、以及设置在第二纤芯上面和周围的上包层构成第二光波导。第一纤芯由硅制成。第一和第二纤芯的横截面形状有所不同。此外，还公开了该光学模块的制造方法。

主权项

1.一种光学模块，其特征在于：该光学模块包括：整体上具有扁平形状的下包层(图1A和1B：14，图3A到3C：24)；具有四边形横截面并且设置在所述的下包层上的第一纤芯(图1A和1B：16，图3A到3C：26)；设置在所述的第一纤芯的终端部分上的第二纤芯(图1A和1B：18，图3A到3C：28)；以及设置在包括所述的第一纤芯和所述的第二纤芯的终端部分(图1A和1B：17，图3A到3C：27)的区域中的上包层(图1A和1B：15，图3A到3C：25)，其中所述的第二纤芯(图1A和1B：18，图3A到3C：28)设置在所述第一纤芯的终端部分，其中，所述的下包层(图1A和1B：14，图3A到3C：24)和设置在其上的第一纤芯(图1A和1B：16，图3A到3C：26)构成第一光波导(图1A和1B：10，图3A到3C：20)，所述的下包层(图1A和1B：14，图3A到3C：24)、设置在所述的下包层上的所述的第一纤芯(图1A和1B：16，图3A到3C：26)的终端部分(图1A和1B：17，图3A到3C：27)、设置在其上的所述的第二纤芯(图1A和1B：18，图3A到3C：28)、以及设置在所述第二纤芯的上方和周围的所述上包层(图1A和1B：15)，构成模场尺寸转换部分(图1A和1B：11，图3A到3C：21)，所述的下包层((图1A和1B：16，图3A到3C：26)、设置在所述的下包层上的所述第二纤芯(图1A和1B：18，图3A到3C：28)、以及设置所述的第二纤芯之上和周围的所述上包层(图1A和1B：18，图3A到3C：28)，构成第二光波导(12)，所述的第一纤芯(图1A和1B：16，图3A到3C：26)由硅制成，以及所述的第一和第二纤芯(图1A和1B：16、18，图3A到3C：26、28)的横截面形状不同。