| 主权项 |
1.一种激光干涉仪[10]，用于在台架反射镜[22]在第一和第二位置之间移动时测量所述台架反射镜[22]相对于参考反射镜[21]的位置变化，所述激光干涉仪[10]包括：用于产生第一和第二重合光束的光源[11]，所述第一光束[12]的波长为λ1，所述第二光束[13]的波长为λ2，其中λ1＝Mλ2，所述第一光束[12]包括两个互相垂直的偏振分量，它们的频率差为第一拍频Fref(λ1)，所述第二光束[13]包括两个互相垂直的偏振分量，它们的频率差为第二拍频Fref(λ2)，其中Fref(λ2)＝MFref(λ1)，M是大于1的整数；偏振分光镜[17]，用于把所述光束中每束的垂直偏振分量之一传递到所述参考反射镜[21]，而把所述光束中每束的另一个所述垂直偏振分量传递到所述台架反射镜[22]，和用于在所述垂直偏振分量被所述参考反射镜[21]或所述台架反射镜[22]反射之后，把所述垂直偏振分量叠加；第一探测器[23]，用于在所述第一光束[12]的所述垂直偏振分量被所述偏振分光镜[17]组合之后，测量所述第一光束的光强，所述第一探测器[23]产生数值等于所述第一探测器[23]处光强的第一探测器[23]信号，所述第一探测器[23]信号以瞬时频率F1(t)振荡；第二探测器[24]，用于在所述第二光束[13]的所述垂直偏振分量被所述偏振分光镜[17]组合之后，测量所述第二光束[13]的光强，所述第二探测器[24]产生数值等于所述第二探测器[24]处光强的第二探测器[24]信号，所述第二探测器[24]信号以瞬时频率F2(t)振荡；参考信号发生器[27]，用于产生以所述第二拍频振荡的参考信号；光程测量电路[31]，用于测量在所述台架反射镜[22]从所述第一位置移动到所述第二位置期间所述第二探测器[24]信号与所述参考信号发生器[27]的振荡次数的差值，和用于产生表示所述差值的光程信号；以及校正项电路[33]，用于测量在所述台架反射镜[22]从所述第一位置移动到所述第二位置期间包括MF1(t)-F2(t)的信号振荡的次数，和用于产生表示所述测量振荡次数的校正信号。 |
