发明名称 声波器件及其制作方法
摘要 一种声波器件包括:第一基底,具有根据输入电信号产生固体振动的振动单元和将电信号引入振动单元的电极垫单元;以及第二基底,具有用于将电极垫单元连接到外部电极的通孔。在该声波器件中,通过将第一基底与第二基底互相接合在一起,至少密封第一基底的振动单元。
申请公布号 CN1495999A 申请公布日期 2004.05.12
申请号 CN03127880.9 申请日期 2003.08.13
申请人 富士通媒体器件株式会社;富士通株式会社 发明人 佐藤良夫;桥本研也
分类号 H03H9/25;H03H9/145;H03H9/64;H03H3/06 主分类号 H03H9/25
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 李强
主权项 1.一种声波器件,该声波器件包括:第一基底,具有根据输入电信号产生固体振动的振动单元和将电信号引入振动单元的电极垫单元;以及第二基底,具有用于将电极垫单元连接到外部电极的通孔,通过将第一基底与第二基底互相接合在一起,至少密封第一基底的振动单元。
地址 日本神奈川县