A RAPID THERMAL PROCESSING BARREL REACTOR FOR PROCESSING SUBSTRATES,申请号EP19980907381-传众专利搜索

发明名称	A RAPID THERMAL PROCESSING BARREL REACTOR FOR PROCESSING SUBSTRATES
摘要
申请公布号	EP1021586(A4)	申请公布日期	2004.05.12
申请号	EP19980907381	申请日期	1998.02.20
申请人	MOORE EPITAXIAL, INC.	发明人	MOORE, GARY, M.
分类号	C23C16/46;C23C16/48;C30B25/10;C30B31/12;F27B5/14;F27B5/18;F27D19/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;(IPC1-7):C23C16/48	主分类号	C23C16/46
代理机构		代理人
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