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发明名称
摘要
申请公布号	JP3525866(B2)	申请公布日期	2004.05.10
申请号	JP20000198311	申请日期	2000.06.30
申请人		发明人
分类号	H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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