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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BILDUNG VON MUSTERN IN FILMEN UNTER VERWENDUNG VON TEMPERATURGRADIENTEN
摘要
申请公布号 DE60102600(D1) 申请公布日期 2004.05.06
申请号 DE2001602600 申请日期 2001.11.08
申请人 APPLIED NANOSYSTEMS B.V., GRONINGEN 发明人 SCHAEFFER, ERIK;STEINER, ULLRICH
分类号 B81C99/00;B41C1/10;B41M5/26;B41M5/36;B82B3/00;G05D23/19;H01L21/027;(IPC1-7):B41M5/36 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
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