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经营范围
发明名称
THIN WAFER CARRIER
摘要
申请公布号
EP1414719(A1)
申请公布日期
2004.05.06
申请号
EP20020752306
申请日期
2002.07.12
申请人
ENTEGRIS, INC.
发明人
SIMPSON, ANTHONY;WISEMAN, BRIAN
分类号
B65D85/86;H01L21/68;B65D25/10;B65D85/30;H01L21/673;(IPC1-7):B65D85/90
主分类号
B65D85/86
代理机构
代理人
主权项
地址
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