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发明名称 FORMATION OF PLANAR STRAINED LAYERS
摘要
申请公布号 EP1415331(A2) 申请公布日期 2004.05.06
申请号 EP20020759248 申请日期 2002.08.02
申请人 发明人
分类号 H01L29/161;H01L21/20;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/201;H01L29/221;H01L29/78;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/337;H01L29/165;H01L29/205 主分类号 H01L29/161
代理机构 代理人
主权项
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