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发明名称 Verfahren zum selektiven Abscheiden von Aluminium enthaltenden Schichten
摘要
申请公布号 DE69233203(T2) 申请公布日期 2004.05.06
申请号 DE1992633203T 申请日期 1992.11.18
申请人 AT & T CORP., NEW YORK 发明人 ABERNATHY, CAMMY RENEE';PEARTON, STEPHEN JOHN;REN, FAN;WISK, PATRICK WILLIAM
分类号 C23C16/18;C30B23/08;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;(IPC1-7):H01L21/205;C30B25/02 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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