具有用于较大表面积的靶的强力磁引导装置的电弧蒸发器

摘要

本发明涉及一种电弧蒸发器，包括一阳极(1)和一阴极或靶(2)并用于产生准备施加到真空室内需涂覆部分(10)的蒸发材料。本发明的蒸发器还包括一磁引导装置，用于确保电弧以均匀的方式在靶的整个表面上运动。所述磁引导装置包括两个独立的磁系统，其中第一磁系统由一组永磁体(3)构成，该永磁体设置在阴极或靶(2)的周边并且以如下方式设置成或多或少地与靶(2)共面，即其磁化强度要垂直于所述靶(2)的表面；第二磁系统由一电磁体(4－5)构成，该电磁体设置在靶(2)的后部并且与所述靶间隔开一距离地放置在蒸发器电绝缘主体(6)内，其中至少一个磁极设置成与上述靶(2)的表面相平行。这样，两个磁系统的结合作用就确保了靶(2)被均匀地使用或消耗，同时又提高了蒸发器的稳定性。

主权项

1.一种具有用于较大表面积的靶的强力磁引导装置的电弧蒸发器，包括封装在一钟形真空玻璃罩中的一阳极(1)和一阴极或靶(2)，其中还放置着一工件(10)，准备利用阳极(1)和阴极(2)间产生的电弧涂覆上由靶(2)蒸发的材料，还包括一磁引导装置，用于控制和引导电弧的运动，其特征在于，所述磁引导装置由两个独立的磁系统构成，即四个磁极，用于允许所获得的磁场强度任意变化以便使电弧在靶上遵循理想的轨迹，其中一个磁系统由一组永磁体(3)构成，该永磁体设置在蒸发器的周边并且设置成与靶(2)共面，其磁化强度垂直于所述靶(2)的表面；第二磁系统由一个电磁体(4-5)构成，该电磁体设置在靶(2)的后部并与所述靶间隔开一距离，上部的磁极或者是更靠近靶(2)的磁极设置成与上述靶(2)的表面相平行。