发明名称 | 具有隔离阀门的气体激光器 | ||
摘要 | 一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室,其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门,该气体隔离阀门外为气体隔离室,该隔离室有二个出口,出口连接真空泵,出口连接激光混合气体瓶,隔离室另一端为激光腔片,激光放电室还设有气口。本发明具有投资少,更换或清洗腔片方便,运行成本低的优点。 | ||
申请公布号 | CN1494185A | 申请公布日期 | 2004.05.05 |
申请号 | CN03150510.4 | 申请日期 | 2003.08.22 |
申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 楼祺洪 |
分类号 | H01S3/034;H01S3/03 | 主分类号 | H01S3/034 |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
主权项 | 1.一种具有隔离阀门的气体激光器,包括激光放电室(1),其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2),该气体隔离阀门(2)外为气体隔离室(3),该隔离室(3)有二个出口,出口(5)连接真空泵,出口(6)连接激光混合气体瓶,隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9),激光放电室(1)还设有气口(7)。 | ||
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