发明名称 |
具有与真空室连通的真空掩模版库的光刻设备 |
摘要 |
一种包括曝光室和掩模版夹持器的光刻设备,该夹持器按该光刻设备的用户指令,更换要曝光的掩模版。该掩模版夹持器可以包括:能适应真空的机器人;容纳该机器人的真空室;用于输入各掩模版并把它们从大气压过渡到真空的装入闸室;处理该掩模版的处理站;以及储藏至少一块备用掩模版的掩模版库,以便能快速地在曝光过程中使用该掩模版。该机器人可以有两个或更多摇杆式夹,以便同时夹持多块掩模版。这样可用第一摇杆把第一掩模版移离掩模版载物台,同时用第二摇杆把第二掩模版装在掩模版载物台上,余此类推,以便把更换时间缩至最短。 |
申请公布号 |
CN1493921A |
申请公布日期 |
2004.05.05 |
申请号 |
CN03152343.9 |
申请日期 |
2003.07.29 |
申请人 |
ASML控股股份有限公司 |
发明人 |
圣第亚哥·戴尔·普尔图;玛库斯·F·A·欧林斯 |
分类号 |
G03F1/14;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/68 |
主分类号 |
G03F1/14 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
蒋世迅 |
主权项 |
1.一种方法,包括的步骤有:在真空处理区处理从真空输入区接收的掩模版;把掩模版储藏在真空库中;对储藏的掩模版加索引;和根据所述加索引步骤,从真空库检索请求用于在晶片上曝光的某一图形的掩模版。 |
地址 |
荷兰费尔德霍芬 |