发明名称 |
Methods of depositing piezoelectric films |
摘要 |
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申请公布号 |
GB0407506(D0) |
申请公布日期 |
2004.05.05 |
申请号 |
GB20040007506 |
申请日期 |
2004.04.02 |
申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED |
发明人 |
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分类号 |
H01L41/09;H01L41/187;H03H3/007;H03H3/04;H03H9/02;H03H9/17 |
主分类号 |
H01L41/09 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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