容性动量传感器

摘要

一种容性动量传感器，包括衬底(1)、平衡块(11)、可移动电极(10a、10b)、固定器(17a、17b)、弹簧(12)、以及应变缓冲器(13)。平衡块(11)通过动量而位移。可移动电极(10a、10b)与平衡块(11)结合在一起。固定器(14)固定到衬底(1)上以将平衡块(11)和可移动电极(10a、10b)悬挂在衬底(1)的上方。固定电极(17a、17b)面对可移动电极(10a、10b)设置。由响应动量产生的可移动电极(10a、10b)的位移作为电极(10a、10b、17a、17b)之间的电容变化而被检测。弹簧(12)设置在固定器(14)和平衡块(11)之间并响应动量而弹性变形，以便可移动电极(10a、10b)移动对应该动量的距离。应变缓冲器(13)位于固定器(14)和弹簧(12)之间，以便减少在衬底(1)上产生的应变对弹簧(12)的影响。

主权项

1、一种容性动量传感器，包括：衬底(1)；可被动量位移的平衡块(11)；可移动电极(10a、10b)，其与平衡块(11)结合在一起；第一可移动单元固定器(14)，固定到衬底(1)上以将平衡块(11)和可移动电极(10a、10b)悬挂在衬底(1)的上方；固定电极(17a、17b)，其面对可移动电极(10a、10b)设置，其中由响应动量产生的可移动电极(10a、10b)的位移作为可移动电极(10a、10b)和固定电极(17a、17b)之间的电容变化而被检测；第一弹簧(12)，其设置在第一可移动单元固定器(14)和平衡块(11)之间并响应动量而弹性变形，以便可移动电极(10a、10b)移动对应该动量的距离；和第一应变缓冲器(13)，其位于第一可移动单元固定器(14)和第一弹簧(12)之间，以便减少在衬底(1)上产生的应变对第一弹簧(12)的影响。