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发明名称 Nanoscopic tunnel and method of making same
摘要
申请公布号 AU2003301479(A8) 申请公布日期 2004.05.04
申请号 AU20030301479 申请日期 2003.10.16
申请人 NANTERO, INC. 发明人 BERNHARD VOGELI
分类号 H01L29/06;B01J19/00;B01L3/00;B81B1/00;B81C1/00 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
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